二百九十一章：基地还是景点

    极紫EUV光源的消息从越没有跟熊院士透露，因为技术过于先进，为了保密从越打算只在实验室内组装两台进行各种测试，在合适的时候再推出这种光刻机。

    随着两台193nm波长的ArF氟化氩准分子激光光源到...

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